[17p-PA3-1~7] 3.15 シリコンフォトニクス

[17p-PA3-2] アモルファスシリコン積層光回路の実現に向けた低損失層間光伝送

^○武井亮平^1,2，前神有里子^1,2，面田恵美子^1,2，亀井利浩^1,2，榊原陽一^1,2，森雅彦^1,2 (産総研¹，PECST²)

キーワード：アモルファスシリコン,シリコンフォトニクス,オンチップ光配線