16:00 〜 18:00
[17p-PA3-3] CMOS互換プロセスを用いた横型薄膜Si-PIN光検出器の10 GHz超応答
キーワード：シリコン光検出器、CMOS交換プロセス
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
03．光・フォトニクス » 3.15 シリコンフォトニクス
[17p-PA3-1~7] 3.15 シリコンフォトニクス
2014年9月17日(水) 16:00 〜 18:00 PA3 (第1体育館)
ポスター掲示時間16:00～18:00(PA3会場)
一般セッション(ポスター講演)
03．光・フォトニクス » 3.15 シリコンフォトニクス
2014年9月17日(水) 16:00 〜 18:00 PA3 (第1体育館)
ポスター掲示時間16:00～18:00(PA3会場)
16:00 〜 18:00
キーワード：シリコン光検出器、CMOS交換プロセス