[17p-S8-1~13] 3.8 光計測技術・機器

△ [17p-S8-2] 導波モードセンサによる硫酸銅めっき液の管理

^○（M1）佐藤洸太朗¹，大木義路^1,2，藤巻真³，粟津浩一³ (早大先進理工¹，早大材研²，産総研³)

キーワード：硫酸銅めっき,導波モードセンサ