2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

03.光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[17p-S8-1~13] 3.8 光計測技術・機器

2014年9月17日(水) 13:30 〜 17:00 S8 (S8)

15:15 〜 15:30

[17p-S8-7] 白色干渉計を用いた透明電極ITO膜厚の計測

○(D)陳凱,雷楓,伊藤雅英 (筑波大)

キーワード:白色干渉計測