[17p-S9-1~17] 3.7 レーザープロセシング

△ [17p-S9-3] フェムト秒レーザー照射によるNi/SiC界面反応の物性解析

^○（B）近藤健太，柳田栄造，板東洋太，出来真斗，岡田達也，富田卓朗 (徳島大工)

キーワード：フェムト秒レーザー,ニッケルシリサイド,ラマン分光法