[18a-A12-1~9] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [18a-A12-8] アモルファスIZO, IGO, IGZO薄膜の結晶化(1)：IZOとIGO薄膜の結晶化挙動

^○賈軍軍，早瀬礼，吉田匡佑，中村新一，重里有三 (青学大理工)

キーワード：In2O3-ZnO,In2O3-Ga2O3,Crystallization