2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[18a-A16-1~11] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年9月18日(木) 09:00 〜 12:00 A16 (E307)

11:45 〜 12:00

[18a-A16-11] 熱刺激電圧シフト法による単一トラップの観察

与名本欣樹 (日立横研)

キーワード:Individual trap,Thermally stimulate