[18a-A16-1~11] 13.4 デバイス／集積化技術

[18a-A16-2] 金属ゲートの仕事関数ばらつきによるFinFETのDIBLばらつきの解析

^○松川貴，福田浩一，柳永勛，遠藤和彦，塚田順一，山内洋美，石川由紀，大内真一，右田真司，水林亘，森田行則，太田裕之，昌原明植 (産総研)

キーワード：FinFET,特性ばらつき,DIBL