2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[18a-A16-1~11] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年9月18日(木) 09:00 〜 12:00 A16 (E307)

11:00 〜 11:15

[18a-A16-8] Bulk MOSFETとSOTB MOSFETにおけるランダムテレグラフノイズ(RTN)の統計分布比較

古峰祐樹1,水谷朋子1,山本芳樹2,槇山秀樹2,山下朋弘2,尾田秀一2,蒲原史朗2,杉井信之2,更屋拓哉1,小林正治1,平本俊郎1 (東大生研1,LEAP2)

キーワード:RTN,SOI,ばらつき