[18a-A16-1~11] 13.4 デバイス／集積化技術

[18a-A16-8] Bulk MOSFETとSOTB MOSFETにおけるランダムテレグラフノイズ(RTN)の統計分布比較

^○古峰祐樹¹，水谷朋子¹，山本芳樹²，槇山秀樹²，山下朋弘²，尾田秀一²，蒲原史朗²，杉井信之²，更屋拓哉¹，小林正治¹，平本俊郎¹ (東大生研¹，LEAP²)

キーワード：RTN,SOI,ばらつき