[18a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[18a-A17-5] ミラー電子顕微鏡による貫通転位-表面ナノグルーブ対構造の観察

^○一色俊之¹，長谷川正樹² (京都工芸繊維大¹，日立中研²)

キーワード：欠陥評価,ミラー電子顕微鏡,SiC