[18a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[18a-A17-7] X線トポグラフィによる4H-SiCエピ層中の積層欠陥の評価

^○野網健悟，永井哲也，中居克彦，二木登史郎 (日鉄住金テクノロジー)

キーワード：SiC,積層欠陥,X線トポグラフ