[18a-A20-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18a-A20-7] 低温成長In_xGa_1-xAsの結晶構造のアニール温度依存性

^○富永依里子，冨保勇貴，角屋豊 (広大院先端研)

キーワード：低温成長半導体,InGaAs,分子線エピタキシー法