PDF ダウンロード スケジュール 19 いいね! 0 12:00 〜 12:15 [18a-A22-12] 高圧水蒸気処理によるALD-Al2O3/GaN構造の改質機構の考察 ○吉嗣晃治,堀田昌宏,浦川哲,石河泰明,浦岡行治 (奈良先端大) キーワード:高圧水蒸気処理,Al2O3/GaN,異種接合界面制御