2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18a-A22-1~12] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月18日(木) 09:00 〜 12:15 A22 (E314)

12:00 〜 12:15

[18a-A22-12] 高圧水蒸気処理によるALD-Al2O3/GaN構造の改質機構の考察

吉嗣晃治,堀田昌宏,浦川哲,石河泰明,浦岡行治 (奈良先端大)

キーワード:高圧水蒸気処理,Al2O3/GaN,異種接合界面制御