2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18a-A22-1~12] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月18日(木) 09:00 〜 12:15 A22 (E314)

09:30 〜 09:45

[18a-A22-3] 界面顕微光応答法を用いたn-GaNショットキー接触の2次元評価 --表面構造の影響--

山本晋吾,木原雄平,塩島謙次 (福井大院工)

キーワード:GaN,ショットキー接触,二次元評価