2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18a-A22-1~12] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月18日(木) 09:00 〜 12:15 A22 (E314)

10:15 〜 10:30

[18a-A22-6] 電圧印加XPSを用いたSiN/AlGaN界面準位の評価

○川嶋智仁，齋藤玲子，薮原秀彦 (東芝生産技術センター)

キーワード：XPS,AlGaN,界面準位