[18a-A22-1~12] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18a-A22-9] AlGaN/GaN HEMTにおける高圧水蒸気処理による電流コラプスの抑制

^○小林洋平¹，吉嗣晃治²，徳田博邦¹，堀田昌宏²，浦岡行治²，葛原正明¹ (福井大院工¹，奈良先端科学技術大学院大²)

キーワード：AlGaN/GaN HEMT,HPWVA,電流コラプス