[18a-C5-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-C5-7] サファイア基板のサーマルクーリング

^○林家弘，鈴木周平，岡田俊祐，三宅秀人，平松和政 (三重大工)

キーワード：Thermal cleaning