2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[18p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

2014年9月18日(木) 13:15 〜 18:15 A11 (E215)

17:15 〜 17:30

[18p-A11-14] 常温大気圧下でのコプラナー型沿面放電によるSnO2薄膜の形成における前駆体の検討

金指翔大,増田優貴,花井利通,丹祐人,奥谷昌之 (静岡大院工)

キーワード:沿面放電,プラズマ