[18p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[18p-A11-14] 常温大気圧下でのコプラナー型沿面放電によるSnO₂薄膜の形成における前駆体の検討

^○金指翔大，増田優貴，花井利通，丹祐人，奥谷昌之 (静岡大院工)

キーワード：沿面放電,プラズマ