[18p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[18p-A11-17] 液相プロセスにおける酸化物ゲルへのUV照射によるパターン形成技術の開発

^○芳本祐樹¹，永原幸児¹，下田達也^1,2,3 (北陸先端大¹，JST-ERATO²，グリーンデバイス研究センター³)

キーワード：液相プロセス,UV照射,パターニング