[18p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-A12-15] 低温プロセスで高移動度かつ高安定なa-InWO TFT

^○（PC）木津たきお，相川慎也，三苫伸彦，清水麻希，高旭，林孟芳，生田目俊秀，塚越一仁 (物材機構)

キーワード：酸化物半導体,フレキシブルデバイス