[18p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-A12-3] IGZO薄膜における結晶性の成膜条件依存性

^○山田良則，下村明久，野中裕介，石原典隆，山﨑舜平 (半エネ研)

キーワード：IGZO