[18p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-A12-5] 酸化物半導体の低温化・短時間焼成プロセスの検討

^○（PC）鄭恵貞，小倉晋太郎，酒井平祐，吉田学，牛島洋史，植村聖，福田伸子 (産総研,フレキシブル)

キーワード：IGZO, Microwave, Excimer, Xenon