[18p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-A12-7] 大型スパッタカソードにおけるIGZO TFT特性の均一性向上

^○磯部辰徳，新井真，清田淳也，齋藤一也 (アルバック)

キーワード：IGZO,スパッタカソード