[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-10] MeV重イオンを用いた揮発性混合試料の低真空二次イオン質量分析

^○草刈将一，藤井麻樹子，瀬木利夫，青木学聡，松尾二郎 (京大院工)

キーワード：低真空,二次イオン質量分析,MeV重イオン