[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-14] 静電型分析器を用いたTOF-ERDAによる極浅原子分布分析技術の開発(II)

^○阿保智，李沛，姚欣遠，若家冨士男，高井幹夫 (阪大院基礎工)

キーワード：弾性反跳粒子検出法,飛行時間計測,中エネルギーイオン散乱