[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-16] イオン照射によるc軸垂直配向ScAlN薄膜の極性反転現象

^○（DC）鈴木雅視，柳谷隆彦 (名工大)

キーワード：極性制御,圧電薄膜共振子,窒化アルミニウム