[18p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

[18p-A16-1] FinFET-ナノディスクアレイ構造デバイスによる時間軸での積和演算

^○倉光良明¹，東原敬¹，遠藤和彦²，寒川誠二³，昌原明植²，森江隆¹ (九工大生命体¹，産総研²，東北大流体研³)

キーワード：ナノディスクアレイ,FinFET