2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[18p-A16-1~14] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年9月18日(木) 13:30 〜 17:15 A16 (E307)

16:00 〜 16:15

[18p-A16-10] SiナノワイヤMOSFETの正孔移動度の結晶方位および断面形状依存性

藤原寛朗,森岡直也,田中一,須田淳,木本恒暢 (京大院工)

キーワード:移動度,ナノワイヤ,シリコン