[18p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

△ [18p-A16-2] FinFET-ナノディスクアレイ構造結合のためのプロセス手法

^○東原敬¹，遠藤和彦²，柳永勛²，五十嵐誠³，寒川誠二³，昌原明植²，森江隆¹ (九工大生命体¹，産総研²，東北大流体研³)

キーワード：ナノディスクアレイ,FinFET