14:00 〜 14:15
[18p-A16-3] ドレイン電極に関連したMOSFETの微細化限界について
キーワード：MOSFET,ドレイン,微細化限界
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.4 デバイス／集積化技術
[18p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術
2014年9月18日(木) 13:30 〜 17:15 A16 (E307)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.4 デバイス／集積化技術
2014年9月18日(木) 13:30 〜 17:15 A16 (E307)
14:00 〜 14:15
キーワード：MOSFET,ドレイン,微細化限界