[18p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

[18p-A16-6] 円筒系GAA-MOSFETにおけるソース・ドレイン間トンネル電流の解析コンパクトモデル

^○程賀^1,3，宇野重康^2,3，中里和郎¹ (名大¹，立命館大²，JST CREST³)

キーワード：トンネル電流,コンパクトモデル,GAA-MOSFET