[18p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

[18p-A16-9] 数nm-COMOS素子用二次元Si層の検討（Ⅸ）：量子閉じ込め効果の結晶方位依存性へのドーパントの影響

水野智久¹，青木孝¹，鈴木佑弥¹，^○長嶺由騎¹，鮫島俊之² (神奈川大¹，東京農工大²)

キーワード：ドーパントの影響