[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

[18p-A17-11] ClF₃ガスによるSiCウエハエッチング速度挙動

^○中込健¹，矢島大里¹，羽深等¹，加藤智久² (横国大院工¹，産総研²)

キーワード：エッチング