[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

[18p-A17-12] 三フッ化塩素ガスによるSiC成膜装置クリーニング法(2)

^○水野浩輔¹，福元裕介¹，羽深等¹，石田夕起²，大野俊之³ (横国大院工¹，産総研²，FUPET³)

キーワード：クリーニング