[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

[18p-A17-3] SiC表面における酸化初期過程に関する理論的研究

^○伊藤綾子¹，秋山亨¹，中村浩次¹，伊藤智徳¹，白石賢二²，影島博之³，植松真司⁴ (三重大院工¹，名大院工²，島根大院理工³，慶大理工⁴)

キーワード：SiC,oxidation