[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

△ [18p-A17-5] 4H-SiC(0001)面のウェット酸化における水分子の役割

^○永井大介，細井卓司，志村孝功，渡部平司 (阪大院工)

キーワード：SiC,wet oxidation,MOS