[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

△ [18p-A17-6] カソードルミネッセンス法による熱酸化 SiO₂ /SiC 構造の評価

^○福島悠太，Furkan Alan，樋口直樹，Atthawut Chanthaphan，細井卓治，志村考功，渡部平司 (阪大院工)

キーワード：SiC,Cathodoluminescence