[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

[18p-A17-8] シリコン表面における炭化珪素薄膜の室温形成

廣岡亜純，塩田耕平，津地雅希，^○羽深等 (横国大院工)

キーワード：炭化珪素薄膜