[18p-A18-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

▲ [18p-A18-14] Ge-on-Insulator Fabrication by Smartcut Technology for Ge CMOS Photonics Platform

^○（D）亢健^1,2，玉虓^1,2，竹中充^1,2，高木信一^1,2 (東大院工¹，JST-CREST²)

キーワード：GOI,ゲルマニウム,フォトニクス