[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-10] Ir/SiO₂マイクロチューブ，ガラス管アレイ集積化神経電極デバイス

^○（M1）松尾朋幸¹，中邨友彦¹，坂田真浩¹，山際翔太¹，澤畑博人¹，石田誠^1,2，河野剛士¹ (豊橋技科大¹，EIIRIS²)

キーワード：神経電極,光遺伝学,VLS