[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-6] 薄膜PZT-MEMSバイモルフ構造を用いた自励発振システム

^○（M2）井上純一，松田貴文，神田健介，藤田孝之，前中一介 (兵庫県大工)

キーワード：PZT,MEMS,Bimorph