2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月18日(木) 14:00 〜 17:45 A19 (E311)

15:30 〜 15:45

[18p-A19-7] 三次元Si加工基板上へのPZT成膜と評価

○（M1）森上慎悟，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介 (兵県大工)

キーワード：MEMS,PZT