[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-9] バッファアンプを搭載するマイクロプローブ細胞外電極アレイ

^○（M1）牧野浩樹¹，浅井皓平¹，田中将徳¹，石田誠^1,2，河野剛士¹ (豊橋技科大¹，EIIRIS²)

キーワード：神経電極,VLS,細胞外電位記録