[18p-A22-1~15] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-A22-13] Ga₂O₃中のFe原子の拡散に関する調査

^○佐々木公平^1,2，マンホイ ワン²，東脇正高²，倉又朗人¹，山腰茂伸¹ (タムラ製作所¹，情通機構²)

キーワード：Ga2O3,酸化ガリウム,拡散