[18p-A22-1~15] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-A22-14] Al2O3/β-Ga2O¬3ヘテロ接合バンドアライメント

^○上村崇史¹，佐々木公平^2,1，黄文海¹，キルシナムルティ ダイワシガマニ¹，倉又朗人²，山越茂伸¹，東脇正高¹ (情通機構¹，タムラ製作所²)

キーワード：酸化ガリウム