[18p-A22-1~15] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-A22-6] AlGaN/GaN系2次元電子ガスへのノンアロイコンタクトにおけるコンタクト抵抗のAlGaN層厚依存性による抵抗成分分析

^○武井優典¹，岡本真里¹，シン マン¹，萱沼玲¹，下田智裕¹，三井陽平¹，齋藤渉²，筒井一生¹，角嶋邦之¹，若林整¹，片岡好則¹，岩井洋¹ (東工大¹，セミコンダクター&ストレージ社²)

キーワード：AlGaN,オーミックコンタクト,エッチング