[18p-A27-1~17] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[18p-A27-8] バイオテンプレート極限加工によるInGaAs量子ナノディスクの光学特性評価

^○肥後昭男¹，木場隆之^2,7，セドリック トーマス^3,7，李昌勇^3,7，吉川憲一³，田村洋典³，山下一郎⁴，王雲鵬⁵，ソダーバンル ハサネット⁵，杉山正和⁶，中野義昭⁶，村山明宏²，寒川誠二^1,3,7 (東北大WPI-AIMR¹，北大院情報科学²，東北大流体研³，奈良先端大⁴，東大先端研⁵，東大工⁶，JST-CREST⁷)

キーワード：バイオテンプレート極限加工