[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-A8-18] アモルファス炭素膜の特性に及ぼす炭素・水素同位体の効果

^○鈴木裕太郎¹，鈴木常生²，神田一浩³，大竹尚登¹，赤坂大樹¹ (東工大¹，長岡技科大²，兵庫県立大³)

キーワード：アモルファス炭素,同位体効果